▲ 화성시, 1조원 규모ASML-삼성전자 연구지원시설 투자유치 성공

[경인통신=이영애기자] 극자외선(EUV) 노광장비 세계 1위 기업 ASML이 차세대 EUV 활용 삼성전자 초미세 반도체 제조 공정 연구개발(R&D) 지원을 위한 시설 건립 부지 매입 계약을 지난 28일 LH와 체결했다.

이는 정명근 화성시장과 화성시가 K-반도체 핵심도시 도약을 위해 지난해 8월부터 ASML 前 CEO(피터 베닝크) 및 실무자를 직접 만나 국내 제조시설 설치 등 추가 투자를 요청하는 등 신속한 투자결정을 이끌어내기 위해 경기도, LH 동탄사업본부 및 한국전력공사 경기본부 등의 유관기관과 긴밀히 협력한 결과다.

정명근 시장은 4일 방한 중인 ASML의 대외총괄부사장(프랭크 헤임스케르크)을 만나 “화성 New 캠퍼스(업무시설⦁재제조시설 및 트레이닝센터 등)에 이어 ‘ASML-삼성전자 연구지원시설(1조원)’ 건립 부지로 화성시를 선택해 주신 것에 감사하다”며 “화성에서 추진하는 ASML 프로젝트의 성공을 위해 각종 인허가부터 밀착지원하는 원스톱 서비스를 제공하겠다”고 말했다.

정 시장은 이어 “정부에서 추진 중인 첨단반도체기술센터(ASTC, 한국형 IMEC)의 화성시 유치를 위한 적극적인 지원과 조언을 부탁드린다”고 덧붙였다.

이에 프랭크 헤임스케르크 부사장은 “화성시의 전폭적인 지원으로 ‘ASML 화성 뉴 캠퍼스’ 조성이 계획대로 순조롭게 진행되는 것에 감사하다”며 “삼성전자는 ASML의 중요 고객사로, 이번 연구지원시설 건립은 양사 간의 기술동맹을 돈독히 하고 국내 및 화성시 반도체 기업과의 협력을 확대․강화하는 계기가 될 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.

이날 간담회에는 주한 네덜란드 부대사(오니 얄링크) 등도 함께 배석했으며, 화성시는 이번 면담을 계기로 네덜란드와 반도체 등 다양한 분야에서 교류협력을 확대할 수 있는 계기가 될 수 있을 것으로 기대하고 있다.

화성시를 찾은 ASML 부사장과 주한 네덜란드 부대사는 정 시장과의 면담에서 화성 아리셀 공장 화재 사고 희생자와 가족들에게 깊은 애도를 표하고 위로의 뜻을 전했다.